真空镀膜技术

真空镀膜技术

    所属领域：先进制造

    单位名称：核工业西南物理研究院

    成果简介：真空镀膜技术主要是利用等离子体物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的膜层，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。被誉为最具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。已在国民经济各个领域得到应用，如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、生物、医学和军事等领域。真空镀膜硬件设备主要包括小多弧离子镀膜机、大面积弧离子镀膜机、柱状靶离子镀膜机、磁过滤离子镀膜机、磁控溅射镀膜机（包括平面和柱状）、孪生磁控溅射镀膜机、非平衡磁控溅射镀膜机、射频溅射镀膜机及其复合型离子镀膜设备等系列型号，主要根据用户所处理的零部件要求达到的性能指标来确定配置和生产。

    转化周期：3个月—1年

    预期效益：真空镀膜设备的生产能力为15台/年，产值约为3000万元，生产成本约为2000万元，利税为1000万元。根据我院近几年的销售情况和发展趋势预计投产后三年的市场份额，系列真空镀膜机设备的占有率为10%。

    合作方式：技术转让/技术服务

    推荐单位：中国技术交易所