一种双波长超外差干涉实时位移测量系统
发布时间：2018/3/1 15:16:22 阅读：
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[实用新型] 一种双波长超外差干涉实时位移测量系统
- 授权公告号：CN207019624U
- 授权公告日：2018.02.16
- 申请号：2017206025105
- 申请日：2017.05.26
- 专利权人：浙江大学
- 发明人：潘德馨;
卢乾波; 白剑; 汪凯巍 - 地址：310058浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 分类号：G01B11/02(2006.01)I 全部
- 专利代理机构：杭州求是专利事务所有限公司33200
- 代理人：林超
- 同样的发明创造已同日申请发明专利
摘要： 本实用新型公开了一种双波长超外差干涉实时位移测量系统。系统由两个波长差为Δλ的激光器、三个偏振分光棱镜、四个分光棱镜、两个声光调制器、四个四分之一波片、五个平面反射镜、三个偏振片、一个超窄带滤波片、两个大带宽的跨阻抗光电探测器、两个低带宽的高灵敏度光电探测器、一个参考反射镜、一个被测反射镜组成。本实用新型利用双波长产生的合成波长干涉信号提升系统的测量量程，使得系统的测量量程远大于单波长干涉的量程，可以直接测量合成波长的相位，实现实时测量，同时利用超窄带滤波片采得单波长干涉信号，在扩大测量量程的同时保证单波长干涉测量的精度。
