微电子气体分析器、微电子装置、室内夹具和移动单元
发布时间：2018/4/11 9:18:56 阅读：
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[实用新型] 微电子气体分析器、微电子装置、室内夹具和移动单元
- 授权公告号：CN207215169U
- 授权公告日：2018.04.10
- 申请号：2017204597044
- 申请日：2017.04.27
- 专利权人：意法半导体有限公司
- 发明人：O·勒内尔;
R·山卡尔; 甘先耀; 罗天周 - 地址：新加坡城
- 分类号：G01D21/02(2006.01)I 全部
- 专利代理机构：北京市金杜律师事务所11256
- 代理人：王茂华
- 优先权：15/213,230 2016.07.18 US
- 同样的发明创造已同日申请发明专利
摘要： 公开了微电子气体分析器、微电子装置、室内夹具和移动单元。小型气体分析器能够检测周围空气中的VOC气体以及感测相对湿度和周围温度，可以用于监测室内空气质量。VOC气体传感器是热控的且可以通过编程邻近加热器而被调谐用于检测某种气体。形成在传感器下方的绝缘气穴帮助将VOC气体传感器维持在期望的温度。本地温度传感器可以与每个气体传感器集成以提供反馈控制。加热器、本地温度传感器、气体传感器、相对湿度传感器以及周围温度传感器采用可图案化薄膜的形式集成在单个微芯片上。该装置可以结合在计算机工作站、智能电话、衣服或其他可穿戴配件中以起到个人空气质量监测器的作用，个人空气质量监测器比现有空气质量传感器更小、更准确且更便宜。
