一种提拉式镀膜装置
发布时间：2018/8/30 10:27:56 阅读：
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[实用新型] 一种提拉式镀膜装置
- 授权公告号：CN207723006U
- 授权公告日：2018.08.14
- 申请号：2017218609634
- 申请日：2017.12.27
- 专利权人：信利光电股份有限公司
- 发明人：李素云;
裴立志; 时庆文; 周伟杰 - 地址：516600广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋
- 分类号：B05C3/10(2006.01)I; B05C13/02(2006.01)I 全部
- 专利代理机构：广州粤高专利商标代理有限公司44102
- 代理人：邓义华; 廖苑滨
摘要： 本实用新型公开了一种提拉式镀膜装置，包括支架、工作平台、镀膜池、提拉机构和旋转夹料机构，所述支架和镀膜池设于所述工作平台上，所述提拉机构和旋转夹料机构设于所述支架上，所述提拉机构和旋转夹料机构设置在所述镀膜池的上方，所述提拉机构用于带动所述旋转夹料机构上下移动，所述旋转夹料机构用于夹持基片并带动所述基片旋转。本实用新型在垂直方向运动的基础上，增加切向的运动，可以实现旋转提拉镀膜，保证整个提拉过程基片的薄膜层均匀，可以改善3D盖板不同曲率半径处膜层的均匀性。
