一种固晶辅助设备及固晶机
发布时间：2018/8/30 10:30:58 阅读：
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[实用新型] 一种固晶辅助设备及固晶机
- 授权公告号：CN207731905U
- 授权公告日：2018.08.14
- 申请号：2017218623627
- 申请日：2017.12.27
- 专利权人：昆山思雷电子科技有限公司
- 发明人：张银鸽; 王建丁; 曹俊星
- 地址：215332江苏省苏州市昆山市花桥镇绿地大道231弄9号楼2005室
- 分类号：H01L21/67(2006.01)I 全部
- 同样的发明创造已同日申请发明专利
摘要： 本实用新型公开了一种固晶辅助设备，包括显微镜装置、第一机器视觉检测装置以及推移装置，推移装置包括推头、第一运动机构以及第一控制系统，推头用于推移晶片，第一运动机构驱动连接推头，用于根据第一控制指令将推头自当前位置移送至设定位置，第一控制系统电连接图像处理主机和第一运动机构，用于根据当前位置和设定位置向第一运动机构发出第一控制指令，第一运动机构为三维精密移动平台。本实用新型公开的固晶辅助设备及固晶机，在点胶、固晶后，采用三维精密移动平台结合显微镜和机器视觉检查装置，以微米级别精确调整晶片位置，实现固晶精度的提高。
