一种多晶硅生产中原料混合氯硅烷节能回收工艺
发布时间:2019/4/1 15:40:05 阅读:
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[发明公布] 一种多晶硅生产中原料混合氯硅烷节能回收工艺
- 申请公布号:CN103466634A
- 申请公布日:2013.12.25
- 申请号:2013103936875
- 申请日:2013.09.03
- 申请人:新特能源股份有限公司
- 发明人:张伟;
张吉武; 陈朝霞; 陈喜清
- 地址:830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市500甘泉堡工业园
- 分类号:C01B33/107(2006.01)I; C01B33/03(2006.01)I 全部
- 专利代理机构:北京中恒高博知识产权代理有限公司11249
- 代理人:夏晏平
摘要: 本发明涉及节能技术领域,为了在多晶硅生产中降低成本,节约能源,充分利用尾气中混合氯硅烷,本发明提供的技术方案为从解析塔塔釜采出的100-150℃高温氯硅烷与换热器冷媒进行换热,获得70-115℃等于或稍低于泡点温度的混合氯硅烷,然后分别依次在解析塔压力和循环氯硅烷缓冲罐压力作用下送入循环氯硅烷缓冲罐和精馏塔,进行纯化,本发明避免了从解析塔采出后的过度降温和在精馏塔中再补充加温,节约了能源,降低了生产成本,并且具有节约蒸汽用量20%,及工艺简单,操作容易等有益效果。