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一种加热装置及气体输送系统

发布时间:2019/7/29 15:56:44    阅读:

[实用新型] 一种加热装置及气体输送系统

  • 授权公告号:CN209165037U
  • 授权公告日:2019.07.26
  • 申请号:2018220346294
  • 申请日:2018.12.05
  • 专利权人:上海正帆半导体设备有限公司;
     上海正帆科技股份有限公司
  • 发明人:常军
  • 地址:201613上海市松江区华哲路260弄10号
  • 分类号:F17D1/02(2006.01)I; F24H1/10(2006.01)I  全部
    • 专利代理机构:北京品源专利代理有限公司11332
    • 代理人:胡彬
摘要: 本实用新型涉及气体输送设备技术领域,公开一种加热装置及气体输送系统。该加热装置包括包括外壳、支撑块、加热棒、至少两个螺旋盘管和隔热层,所述外壳由铝制成,所述支撑块固设于所述外壳的外表面上,所述加热棒安装在所述外壳上且发热段伸入所述外壳内;至少两个所述螺旋盘管交错设置,所述螺旋盘管包括盘管主体和连接在盘管主体两端的端部,所述盘管主体设置在所述外壳内部且套设在所述加热棒的所述发热段外,且所述螺旋盘管的所述端部穿过所述外壳和所述支撑块置于所述外壳的外部;所述隔热层包覆在所述外壳的外部。本实用新型的加热装置结构简单、使用便捷、运行安全,解决了由气体减压后,温度降低、输送压力的不稳定、管路系统的损坏等问题。