本实用新型公开了一种远紫外杀菌装置，该装置能够充分过滤掉低于200纳米和(或)高于230纳米对人体有害的紫外线，使200至230纳米紫外线光能够高效的释放。本实用新型的紫外杀菌系统装置包括：准分子紫外光源、电源装置、冷却装置、聚光装置、滤光装置、气体过滤装置、运行控制系统和灯箱。本实用新型专利所述装置能够显著提高对人体无害的有效紫外光的输出效率，增加光源的使用功效。并且，本系统装置可模块化更新局部组件，重复使用其他装置，降低使用成本。