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一种可区分晶面的碳化硅晶体

发布时间:2023/5/11 10:02:53    阅读:

[实用新型] 一种可区分晶面的碳化硅晶体

授权公告号:
CN218989480U
授权公告日:
2023.05.09
申请号:
2021208738349
申请日:
2021.04.26
专利权人:
山西烁科晶体有限公司
发明人:
戴鑫;魏汝省;李斌;毛开礼;李天;范云
地址:
030006山西省太原市综改示范区太原唐槐园区唐槐路5号
分类号:
C30B29/36(2006.01)I; 全部
摘要:

本实用新型公开了一种可区分晶面的碳化硅晶体,涉及碳化硅单晶制备技术领域;所述晶体的上或下表面为碳面,相对另一面为硅面;碳面和硅面之间为晶体本体,所述晶体本体的侧面设置有刻制的标识结构,所述标识结构的刻制深度为10‑50μm,标识结构用于区分碳面和硅面;本实用新型通过在晶体的侧面通过刻痕的形式设置标识结构,不易在生产加工的过程中消除或引入杂质污染,且可以方便快速的对晶锭或晶片两个晶面进行区分,提高了加工生产的效率;解决了碳化硅晶锭/片及加工过程中碳化硅晶锭/片晶面易混淆,无法识别的问题。