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能够充入氮气的半导体智能仓储

发布时间:2024/3/6 9:19:22    阅读:

[实用新型] 能够充入氮气的半导体智能仓储

授权公告号:
CN220555482U
授权公告日:
2024.03.05
申请号:
2023214743362
申请日:
2023.06.10
专利权人:
苏州艾斯达克智能科技有限公司
发明人:
沙伟中
地址:
215000江苏省苏州市苏州高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室
摘要:

本实用新型公开了一种能够充入氮气的半导体智能仓储,该智能仓储包括一个密封的仓储空间、一个气体排出通道、一个外部氮气补入装置、一个监控装置和一个安全装置。该智能仓储能够将仓储空间内的空气排出并充入纯净的氮气,以防止存放在其中的半导体晶圆片被氧化,提高晶圆片的质量和寿命。该智能仓储还能够监控和调节仓储空间内的氮气含量、温度和压力,并在发现异常时发出报警信号和关闭相应的装置,以保障仓储空间的安全性和人员的健康。该智能仓储还设有多个晶圆片存放架和一个堆垛机,以实现晶圆片的分层存放和自动化入库和出库。