一种新型8寸晶圆用切割设备
发布时间:2024/5/31 15:05:10 阅读:
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[实用新型] 一种新型8寸晶圆用切割设备
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- 摘要:
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本实用新型公开了一种新型8寸晶圆用切割设备,涉及8寸晶圆加工用技术领域,包括切割装置底座和激光切割装置,所述切割装置底座的外表面上方固定连接有支撑杆。该新型8寸晶圆用切割设备,与现有的普通切割设备相比,当需要进行使用时,通过打开红外线激光灯,使得红外线激光灯位置固定在晶圆上,通过启动激光切割装置进行切割,当切割完成后,红外线激光灯感应到晶圆进行掉落,通过控制第一横杆内部的电动伸缩杆一使得第二横杆进行移动,当移动到顶边时,通过第二横杆内部的电动伸缩杆二带动滑动块进行移动,使得在一块大的晶圆上切割处需要大小的晶圆,避免了材料的浪费,且进行多角度进行切割,体现了装置的实用性。